Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Etching (microfabrication) — Etching tanks used to perform Piranha, Hydrofluoric acid or RCA clean on 4 inch wafer batches at LAAS technological facility in Toulouse, France Etching is used in microfabrication to chemically remove layers from the surface of a wafer during… … Wikipedia
Deep reactive-ion etching — (DRIE) is a highly anisotropic etch process used to create deep penetration, steep sided holes and trenches in wafers, with aspect ratios of 20:1 or more. It was developed for microelectromechanical systems (MEMS), which require these features,… … Wikipedia
Shallow trench isolation — (STI), also known as Box Isolation Technique , is an integrated circuit feature which prevents electrical current leakage between adjacent semiconductor device components. STI is generally used on CMOS process technology nodes of 250 nanometers… … Wikipedia
Black Silicon — Schwarzes Silicium (engl. black silicon) ist eine Oberflächenmodifikation des kristallinen Siliciums. Dabei entstehen durch hochenergetischen Beschuss durch Ionen oder ultrakurzer Laserpulse nadelförmige Strukturen auf der Oberfläche, die die… … Deutsch Wikipedia
Schwarzes Silicium — (englisch black silicon) ist eine Oberflächenmodifikation des kristallinen Siliciums. Dabei entstehen durch hochenergetischen Beschuss durch Ionen oder ultrakurzer Laserpulse nadelförmige Strukturen auf der Oberfläche, die die Reflexion des… … Deutsch Wikipedia
Schwarzes Silizium — Schwarzes Silicium (engl. black silicon) ist eine Oberflächenmodifikation des kristallinen Siliciums. Dabei entstehen durch hochenergetischen Beschuss durch Ionen oder ultrakurzer Laserpulse nadelförmige Strukturen auf der Oberfläche, die die… … Deutsch Wikipedia
Grabenätzung — griovelių ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. trench etching vok. Grabenätzung, f rus. травление канавок, n pranc. décapage des rainures, m … Radioelektronikos terminų žodynas
décapage des rainures — griovelių ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. trench etching vok. Grabenätzung, f rus. травление канавок, n pranc. décapage des rainures, m … Radioelektronikos terminų žodynas
griovelių ėsdinimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. trench etching vok. Grabenätzung, f rus. травление канавок, n pranc. décapage des rainures, m … Radioelektronikos terminų žodynas
травление канавок — griovelių ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. trench etching vok. Grabenätzung, f rus. травление канавок, n pranc. décapage des rainures, m … Radioelektronikos terminų žodynas
